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EM69系列鎢燈絲掃描電鏡

所屬系列:ZJYQ-GYXWSEM-ZKKY

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產(chǎn)品描述
國產(chǎn)電鏡|鎢燈絲掃描電子顯微鏡|EM69系列鎢燈絲掃描電鏡
產(chǎn)品特點(diǎn):
兼容低真空模塊
豐富的自動化功能
支持定制化
選配多功能超大樣品倉
大視野導(dǎo)航相機(jī)
拓展豐富


技術(shù)參數(shù):

分辨率——EM6910/6920 SE:3nm@30kV,8nm@3kV; BSE :4nm@30kV(選配)
樣品臺——EM6910 五軸自動中樣品臺,EM6920 五軸自動大樣品臺
加速電壓——EM6910/6920  0.2kV-30kV
探測器——EM6910/6920  二次電子探測器、半導(dǎo)體四分割背散射探測器(選配)、紅外 CCD、低真空二次電子探測器(選配)
燈絲——EM6910 預(yù)對中鎢燈絲,六硼化鑭(選配),EM6920 預(yù)對中鎢燈絲,六硼化鑭(選配)

外形尺寸:
EM6910
(1)電子光學(xué)鏡筒部分:850×880×1650(mm)
(2)電器柜控制部分:1340×850×740(mm)
EM6920
(1)電子光學(xué)鏡筒部分:1000×1000×1700(mm)
(2)電器柜控制部分:1340×850×740(mm)

產(chǎn)品特點(diǎn):
預(yù)抽室-LoadLock :樣品直徑:≤75mm,高≤15mm;換樣時間:≤2min; 換樣桿配備鎖定功能,防脫落
多功能精密調(diào)節(jié)模塊:放大倍數(shù)粗調(diào)及細(xì)調(diào)、電對中、聚焦調(diào)節(jié)、消像散調(diào)節(jié) 、亮度及對比度調(diào)節(jié)、電位移調(diào)節(jié)等。

選配附件:
EM6910:EDS/EBSD/ STEM/CL/加熱臺 / 冷臺 / 拉伸臺等 
EM6920:EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock/預(yù)抽室 / 加熱臺 / 冷臺 / 拉伸臺等

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