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EM8200超高分辨場發(fā)射掃描電鏡

所屬系列:ZJYQ-GYXWSEM-ZKKY

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產(chǎn)品描述
EM8200超高分辨場發(fā)射掃描電鏡
產(chǎn)品特點:
新一代低像差物鏡、減速樣品臺、低壓高分辨成像
低噪聲Inlens探測器
自動推入式背散射探測器
全新的用戶界面設(shè)計
豐富的軟件測量功能
應(yīng)用領(lǐng)域:
EM8200超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用全新電子光學(xué)設(shè)計,基于減速樣品臺、新一代低像差物鏡、Inlens探測器等技術(shù),集成豐富的圖像處理功能,為新能源、半導(dǎo)體等用戶提供全新解決方案。
技術(shù)參數(shù):
分辨率——SE 0.8nm@15kV、1.5nm@1kV
放大倍數(shù)——1x-1600000x;光學(xué)放大 1x-100x
電子槍——Schottky 肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓——0.2kV-30kV
探測器配置——高真空二次電子探測器、半導(dǎo)體四分割背散射探測器、紅外CCD攝像頭、Inlens探測器
樣品臺——五軸自動大樣品臺
外形尺寸——電子光學(xué)鏡筒部分:1000×1000×1730(mm)
電器柜控制部分:1330×850×740(mm)
選配附件——EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock過渡倉/加熱臺/冷臺/拉伸臺等

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