所屬系列：ZJYQ-GYXWEM-HITACHI
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日立場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列規(guī)格：
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機型 |
SU8600 系列 |
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電子光學系統(tǒng) |
二次電子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
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0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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電子槍 |
冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽烘烤系統(tǒng)。 |
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加速電壓 |
0.5 to 30 kV |
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著陸電壓 * |
0.01 to 20 kV |
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探測器 |
（部分為選配項） |
上探測器(UD) |
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UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能 |
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下探測器(LD) |
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頂探測器(TD) |
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TD能量過濾器 |
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鏡筒內背散射電子探測器(IMD) |
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半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED) |
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新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) |
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陰熒光探測器(CLD) |
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掃描透射探測器(STEM Detector) |
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附件 |
（部分為選配項） |
導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
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軟件 |
（部分為選配項） |
EM Flow Creater、HD Capture(高 40,960×30,720 像素） |
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樣品臺 |
馬達驅動軸 |
5軸馬達驅動（X/Y/R/Z/T） |
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馬達驅動軸 |
X：0~110 mm |
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Y：0~110 mm |
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Z：1.5~40 mm |
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T：-5~70° |
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R：360° |
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樣品室 |
樣品尺寸 |
大直徑：150 mm |
