AL120晶圓搬送機(jī)可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
※適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
n對應(yīng)多種尺寸組合
=推出了200 mm專用型、200
mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
n薄片檢查
=對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運整盒25枚90 μm的薄晶圓。
※高度實用性
n進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查
=宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
=利用360゜旋轉(zhuǎn)功能，可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓Z大傾斜30゜進(jìn)行觀察。
n操作便捷
=為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達(dá)10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
=晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。
=AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。
高度可靠性
n優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
=為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
=在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI
S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
n堅固、耐用的顯微鏡底座
=AL120搭載奧林巴斯MXZYE晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了ZHUY的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
n人機(jī)工程學(xué)設(shè)計的載物臺
=手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
=可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺，進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
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晶圓搬送機(jī) AL120 規(guī)格
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200 mm專用型
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200 mm/150 mm 兼用型
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150 mm型
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AL120-
LMB8-
90
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AL120-
LMB86-
180
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AL120-
L86-
180
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AL120-
LMB86
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AL120-
L86
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AL120-
LMB6-
150
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AL120-
L6-
150
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晶圓尺寸（SEMI規(guī)格）
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200mm
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200mm / 150mm
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150mm /
125mm /
100mm
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晶圓Z小厚度
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90μm
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180μm
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400μm
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150μm
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片盒類型*
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SEMI規(guī)格：25（26）個slot
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片盒數(shù)
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1
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檢查模式
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全部檢查／抽樣檢查
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搬運順序
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微觀檢查（顯微鏡檢查）
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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○
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表面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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背面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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二次背面宏觀檢查
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○
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○
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○
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○
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晶圓定位（每 90o）
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非接觸（定位平邊／V型槽）
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非接觸（定位平邊）
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適配顯微鏡型號
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奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61
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尺寸（mm）
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主機(jī)部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) ×
620 (D) × 378 (H)
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主機(jī)部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) ×
620 (D) × 400 (H)
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重量（kg）（僅主機(jī)部分）
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44
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44
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41
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44
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41
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40
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37
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使用環(huán)境（電源／真空）
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AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上
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* 最多可登記10種片盒
